General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 24576-2009
сфера применения
Настоящий стандарт определяет метод измерения содержания Al в эпитаксиальном слое AlGaAs на подложке GaAs методом дифракции рентгеновских лучей высокого разрешения. Этот метод пригоден для определения содержания Al в эпитаксиальном слое AlGaAs, выращенном в направлении нелегированной подложки GaAs. При использовании этого метода для измерения содержания элемента Al толщина эпитаксиального слоя AlGaAs должна быть более 300 нм.
GB/T 24576-2009 История
2009GB/T 24576-2009 Метод испытаний для измерения доли Al на подложках AlGaAs методом рентгеновской дифракции высокого разрешения.