EN 62047-3:2006
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение.

Стандартный №

EN 62047-3:2006

Дата публикации

2006

Разместил

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Последняя версия

EN 62047-3:2006

EN 62047-3:2006 История

• 2006 EN 62047-3:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение.