JACA 45-2007 Руководство по классификации чистоты поверхностей по уровню молекулярных загрязнений в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах и методы его оценки
2007JACA 45-2007 Руководство по классификации чистоты поверхностей по уровню молекулярных загрязнений в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах и методы его оценки