Измерения глубины кратеров распыления выполняются для того, чтобы определить скорость распыления (глубину/время) для каждой матрицы, распыленной во время профиля глубины распыления или аналогичного углубленного анализа. По значениям скорости распыления можно рассчитать линейную шкалу глубины и отобразить ее для профиля глубины распыления. Данные, полученные в результате профилометрии поверхности, полезны для мониторинга инструментальных параметров (например, размера растра, формы и любых неровностей топографии напыленного кратера), используемых для построения профилей глубины.1.1 В этом руководстве описаны предпочтительные процедуры получения и последующей обработки данных напыления. измерение глубины кратера. Настоящее руководство ограничено профилометрами поверхности щупового типа, оснащенными предметным столиком, щупом, соответствующей сканирующей и сенсорной электроникой, видеосистемой для выравнивания образца и скана, а также компьютеризированной системой. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются. , связанный с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E1634-02(2007) История
2019ASTM E1634-11(2019) Стандартное руководство по измерению глубины кратера распыления
2011ASTM E1634-11 Стандартное руководство по измерению глубины кратера распыления
2002ASTM E1634-02(2007) Стандартное руководство по измерению глубины кратера распыления
2002ASTM E1634-02 Стандартное руководство по измерению глубины кратера распыления
1994ASTM E1634-94(1999) Стандартное руководство по измерению глубины кратера распыления