ASTM E1636-04 Стандартная практика аналитического описания данных о профиле глубины распыления с помощью расширенной логистической функции

Стандартный №: ASTM E1636-04
Дата публикации: 2004
Разместил: American Society for Testing and Materials (ASTM)
состояние: быть заменен
быть заменен: ASTM E1636-10
Последняя версия: ASTM E1636-10

сфера применения: Информацию о составе границы раздела часто получают путем измерения состава поверхности, в то время как материал образца постепенно удаляется ионной бомбардировкой (см. Руководство E 1127 и Методику E 1162). Таким образом, границы раздела выявляются и характеризуются путем измерения состава в зависимости от глубины для получения профиля глубины распыления. Форма таких профилей интерфейса содержит информацию о физических и химических свойствах области интерфейса. Чтобы точно и однозначно описать эту область интерфейса и определить его ширину (см. Руководство Е 1438), необходимо определить форму всего профиля интерфейса с помощью одной аналитической функции. Хотя в настоящее время не существует общей физической модели для описания формы профилей глубины распыления, профили интерфейса имеют сигмоидальную форму, характерную для кумулятивного логистического распределения. Использование такой логистической функции физически правдоподобно и превосходит другие функции (например, полиномиальные), которые до сих пор использовались для анализа профиля интерфейса, тем, что содержит минимальное количество параметров для описания формы интерфейса. Было предпринято множество попыток охарактеризовать профили интерфейса с помощью общих функций (таких как полиномы или функции ошибок), но они страдали нестабильностью и неспособностью обрабатывать плохо структурированные данные. Выбор логистической функции вместе со специально написанной процедурой наименьших квадратов (описанной в Приложении X1) может обеспечить статистически оцененные параметры, которые описывают ширину, асимметрию и глубину профилей интерфейса воспроизводимым и однозначным образом.1.1 Эта практика охватывает систематический анализ метод анализа данных профиля глубины распыления на границе раздела и точного определения формы области интерфейса. Данные профиля интерфейса описываются соответствующей аналитической функцией; параметры этой функции определяют ширину интерфейса, его асимметрию и глубину от исходной поверхности. Использование этой практики рекомендуется для того, чтобы можно было однозначно сравнивать и интерпретировать формы профилей состава интерфейсов, полученных с помощью разных инструментов и методик на разных материалах. 1.2 Данная методика предназначена для описания формы данных профиля глубины, полученных на границе раздела двух разнородных материалов, для того случая, когда измеренная концентрация внешнего материала изменяется от 100 до 0 %, а внутреннего материала — от 0 до 100%. 1.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM E1636-04 Ссылочный документ

ASTM E1127 Стандартное руководство по профилированию глубины в электронной оже-спектроскопии
ASTM E1162 Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
ASTM E1438 Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS
ASTM E673 Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности

ASTM E1636-04 История

2010 ASTM E1636-10 Стандартная практика аналитического описания данных профиля глубины и профиля линейного сканирования с помощью расширенной логистической функции
2004 ASTM E1636-04 Стандартная практика аналитического описания данных о профиле глубины распыления с помощью расширенной логистической функции
1994 ASTM E1636-94(1999) Стандартная практика аналитического описания данных о профиле глубины распыления с помощью расширенной логистической функции