Целью данного метода испытаний является определение процедуры испытаний компонентов, рассматриваемых для установки в газораспределительную систему высокой чистоты. Ожидается, что применение этого метода испытаний позволит получить сопоставимые данные среди компонентов, протестированных в целях аттестации данной установки. 1.1 Этот метод испытаний охватывает испытания компонентов на общее содержание влаги в газораспределительной системе при температуре окружающей среды. Кроме того, метод испытаний позволяет проводить испытания при повышенных температурах окружающей среды (до 70–176°С), а также влагоемкость и восстановление компонентов. 1.2 Этот метод испытаний применяется к линейным компонентам, содержащим материалы электронного класса, например те, которые используются в полупроводниковых газораспределительных системах. 1.3 Ограничения: 1.3.1 Этот метод испытаний ограничен чувствительностью существующих приборов, а также временем отклика приборов. Этот метод испытаний не предназначен для использования для испытываемых компонентов, номинальный внешний диаметр которых превышает 12,7 мм (1/2 дюйма). Этот метод испытаний можно применять к более крупным компонентам; однако заявленная объемная скорость потока может не обеспечить адекватного перемешивания для получения репрезентативной пробы. Более высокие скорости потока могут улучшить перемешивание, но привести к чрезмерному разбавлению пробы. 1.3.2 Данный метод испытаний написан с учетом предположения, что оператор понимает использование оборудования на уровне, эквивалентном шестимесячному опыту. 1.4 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Единицы измерения дюйм-фунт, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 5.
ASTM F1397-93(2005) История
2020ASTM F1397-93(2020) Стандартный метод испытаний для определения содержания влаги в компонентах газораспределительной системы
1993ASTM F1397-93(2012) Стандартный метод испытаний для определения содержания влаги в компонентах газораспределительной системы
1993ASTM F1397-93(2005) Стандартный метод испытаний для определения содержания влаги в компонентах газораспределительной системы
1993ASTM F1397-93(1999) Стандартный метод испытаний для определения содержания влаги в компонентах газораспределительной системы