Эта практика используется для описания условий эксперимента, как указано в разделе 6 раздела «Методы»; или «Экспериментальный»; разделы других изданий (с учетом редакционных ограничений). В отчет будут включены конкретные условия для каждого набора данных, особенно если в публикации изменяются какие-либо параметры для разных наборов данных профиля глубины распыления. Например, сноски к таблицам или подписи к рисункам могут использоваться для указания различных условий. 1.1 Эта методика охватывает информацию, необходимую для описания и отчета об оборудовании, параметрах образцов, условиях эксперимента и процедурах обработки данных. Профили глубины распыления ВИМС могут быть получены с использованием широкого спектра условий возбуждения первичного луча, массового анализа, сбора данных и методов обработки (1-4). 1.2 Ограничения Эта практика ограничивается обычными профилями глубины распыления, в которых информация усредняется по анализируемая область в плоскости образца. Методы ионного микрозонда или микроскопа, обеспечивающие поперечное пространственное разрешение вторичных ионов в пределах анализируемой области, например, профилирование глубины изображения, исключены. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E1162-06 История
2019ASTM E1162-11(2019) Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
2011ASTM E1162-11 Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
2006ASTM E1162-06 Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
1987ASTM E1162-87(2001) Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
1987ASTM E1162-87(1996) Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)