ASTM F576-00
Стандартный метод испытаний для измерения толщины изолятора и показателя преломления на кремниевых подложках методом эллипсометрии
- Стандартный №
- ASTM F576-00
- Дата публикации
- 2000
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F576-01
- Последняя версия
- ASTM F576-01
- сфера применения
- 1.1 Этот метод испытаний охватывает измерение эллипсометрией толщины и показателя преломления изолятора, выращенного или нанесенного на кремниевую подложку. 1.2 В этом методе испытаний используется монохроматический свет. 1.3 Этот метод испытаний является неразрушающим и может использоваться для измерения толщины и преломления. индекс любой пленки, не поглощающей свет на длине волны измерения, на любой подложке (1), не прозрачной для света на длине волны измерения, и (2) материала, для которого известны как показатель преломления, так и коэффициент поглощения на длине волны измерения. 1.4 Точность этого метода испытаний снижается из-за изменений в областях, меньших размера пятна светового луча, плоскостности подложки, толщины изолятора и показателя преломления. 1.5 Измерения толщины пленки, определенные с помощью эллипсометрии, не являются уникальными. Когда толщина пленки больше, чем рассчитанная по выражению N/[2(n 2 sin 20)1/2], где N — целое число, длина волны измерения, n — показатель преломления и 0 — угол падения, значение толщины, определенное этим выражением, необходимо добавить к значению толщины, определенному эллипсометрией, чтобы получить правильную толщину пленки. Значение N должно быть получено другой процедурой. 1.6 Предусмотрены две процедуры расчета результатов. Если используется графическая процедура, длина волны измерения должна составлять 546,1 или 632,8 нм, а угол падения должен составлять 70 177 0,1o.1.7. Этот метод испытаний может использоваться для референтных измерений с компьютерными расчетами. 1.8 Настоящий стандарт не претендует на для решения всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 9.
ASTM F576-00 Ссылочный документ
- ASTM C31/C31M Стандартная практика изготовления и отверждения образцов бетона для испытаний в полевых условиях
- ASTM D5127 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
- ASTM E177 Стандартная практика использования терминов «точность» и «предвзятость» в методах испытаний ASTM
- ASTM E284 Стандартная терминология внешнего вида
- ASTM F95
ASTM F576-00 История
- 1970 ASTM F576-01
- 2000 ASTM F576-00 Стандартный метод испытаний для измерения толщины изолятора и показателя преломления на кремниевых подложках методом эллипсометрии
