1.1 Данная практика охватывает методику отбора проб материалов, входящих в состав остаточной газовой среды вакуумированной вакуумной камеры. В этой практике используется устройство, называемое «холодным пальцем», которое помещается в среду, отбираемую для отбора проб, и охлаждается так, что компоненты окружающей среды удерживаются на поверхности холодного пальца. 1.2 Практика охватывает метод получения пробы из холодного пальца и определения массы материала, удаленного из холодного пальца. 1.3 Практика содержит рекомендации относительно способов анализа пробы с целью определения составляющих ее компонентов. 1.4 Путем определения видов, составляющих образец, данная практика может быть использована для определения источника компонентов и того, является ли образец в целом репрезентативным для образцов, аналогичным образом полученных из самой вакуумной камеры. 1.5 Данная практика охватывает альтернативные подходы и способы применения данной практики. 1.6. Степень анизотропии молекулярного потока существенно влияет на уверенность в том, что характеристики, определяемые этой процедурой, можно приписать среде вакуумной камеры в целом. 1.7 Температура холодного пальца существенно влияет на количество и вид собранного материала. 1.8 Этот стандарт может касаться опасных материалов, операций и оборудования. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные меры предосторожности см. в разделе 8.
ASTM E834-81(1998) История
2021ASTM E834-21 Стандартная практика определения газовой среды вакуумной камеры с помощью холодного пальца
2009ASTM E834-09(2015) Стандартная практика определения газовой среды вакуумной камеры с помощью холодного пальца
2009ASTM E834-09 Стандартная практика определения газовой среды вакуумной камеры с помощью холодного пальца
2004ASTM E834-04 Стандартная практика определения газовой среды вакуумной камеры с помощью холодного пальца
1981ASTM E834-81(1998) Стандартная практика определения газовой среды вакуумной камеры с помощью холодного пальца