ASTM F374-00a Стандартный метод испытаний листового сопротивления эпитаксиальных, диффузных, поликремниевых и ионно-имплантированных слоев кремния с использованием линейного четырехточечного зонда с процедурой одиночной конфигурации

Стандартный №: ASTM F374-00a
Дата публикации: 2000
Разместил: American Society for Testing and Materials (ASTM)
состояние: быть заменен
быть заменен: ASTM F374-02
Последняя версия: ASTM F374-02

сфера применения: 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает прямое измерение среднего поверхностного сопротивления тонких слоев кремния диаметром более 15,9 мм (0,625 дюйма), которые формируются путем эпитаксии, диффузии или имплантации на или под поверхность круглой кремниевой пластины, имеющей тип проводимости, противоположный измеряемому тонкому слою, или путем нанесения поликремния на изолирующий слой. Измерения производятся в центре пластины с использованием однозондовой четырехзондовой конфигурации, т.е. ток пропускают через внешние выводы, а результирующую разность потенциалов измеряют с помощью внутренних выводов.1.2 Этот метод испытаний известен. применимо к пленкам толщиной не менее 0,2 181 мкм. Его можно использовать для измерения сопротивления листа в диапазоне от 10 до 5000 омега включительно. 1.2.1 Принцип метода испытаний может быть распространен на более низкие или более высокие значения сопротивления листа; однако точность метода не оценивалась для диапазонов сопротивления листа, отличных от указанных в 1.2. Примечание 1. Минимальное значение диаметра связано с допусками на точность измерения посредством геометрического поправочного коэффициента. Минимальная толщина слоя связана с опасностью проникновения кончиков зонда сквозь слой во время измерения. 1.3 Приводятся также процедуры подготовки образца, измерения его размеров и определения температуры образца во время измерения. В метод включены сокращенные таблицы поправочных коэффициентов, соответствующих круговой геометрии, чтобы можно было удобно производить соответствующие расчеты. Примечание 2. Принципы этого метода испытаний также применимы к другим полупроводниковым материалам, но ни соответствующие условия, ни ожидаемая точность не были определены. Другие геометрические формы также могут быть измерены, но следует использовать только сравнительные измерения с использованием аналогичных геометрических условий, если не известны надлежащие геометрические поправочные коэффициенты. приложения, для которых еще не разработан полный нереферентный метод. Приведенные смягченные условия испытаний являются только согласованными условиями, и их влияние на прецизионность и достоверность измерений не изучалось. 1.4 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих правил техники безопасности и охраны труда, а также определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 9.

ASTM F374-00a Ссылочный документ

ASTM C28 Стандартные спецификации на гипсовые штукатурки
ASTM C31/C31M Стандартная практика изготовления и отверждения образцов бетона для испытаний в полевых условиях
ASTM D5127 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
ASTM E1 Стандартные спецификации для термометров ASTM
ASTM F1529 Стандартный метод испытаний для оценки однородности сопротивления листов поточным четырехточечным датчиком с процедурой двойной конфигурации*， 2023-11-10 Обновление
ASTM F42 Стандартные методы испытаний типа проводимости внешних полупроводниковых материалов

ASTM F374-00a История

1970 ASTM F374-02
2000 ASTM F374-00a Стандартный метод испытаний листового сопротивления эпитаксиальных, диффузных, поликремниевых и ионно-имплантированных слоев кремния с использованием линейного четырехточечного зонда с процедурой одиночной конфигурации