ASTM F1261M-96(2003)
Стандартный метод испытаний для определения средней электрической ширины прямой тонкопленочной металлической линии [метрическая система]

Стандартный №

ASTM F1261M-96(2003)

Дата публикации

1996

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

снять со счета 2009-05

Последняя версия

ASTM F1261M-96(2003)

сфера применения

1.1 Настоящий метод испытаний предназначен для определения средней электрической ширины узкой тонкопленочной линии металлизации.

1.2 Настоящий метод испытаний предназначен для измерения тонких линий металлизации, которые используются в микроэлектронных схемах, где ширина линий может варьироваться от микрометров до микрометров. десятые доли микрометра.

1.3 Испытательная структура, используемая в этом методе испытаний, может быть измерена, пока она является частью пластины или частью ее, или частью тестового чипа, прикрепленного к корпусу и электрически доступного посредством клемм корпуса.

1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1261M-96(2003) Ссылочный документ

• ASTM E178  Стандартная практика работы с отдаленными наблюдениями

ASTM F1261M-96(2003) История

• 1996 ASTM F1261M-96(2003) Стандартный метод испытаний для определения средней электрической ширины прямой тонкопленочной металлической линии [метрическая система]
• 1996 ASTM F1261M-96 Стандартный метод испытаний для определения средней электрической ширины прямой тонкопленочной металлической линии [метрическая система]

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации