ASTM F1261M-96(2003)
Стандартный метод испытаний для определения средней электрической ширины прямой тонкопленочной металлической линии [метрическая система]
- Стандартный №
- ASTM F1261M-96(2003)
- Дата публикации
- 1996
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- 2009-05
- Последняя версия
- ASTM F1261M-96(2003)
- сфера применения
- 1.1 Настоящий метод испытаний предназначен для определения средней электрической ширины узкой тонкопленочной линии металлизации. 1.2 Настоящий метод испытаний предназначен для измерения тонких линий металлизации, которые используются в микроэлектронных схемах, где ширина линий может варьироваться от микрометров до микрометров. десятые доли микрометра.1.3 Испытательная структура, используемая в этом методе испытаний, может быть измерена, пока она является частью пластины или частью ее, или частью тестового чипа, прикрепленного к корпусу и электрически доступного посредством клемм корпуса.1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1261M-96(2003) Ссылочный документ
- ASTM E178 Стандартная практика работы с отдаленными наблюдениями
ASTM F1261M-96(2003) История
- 1996 ASTM F1261M-96(2003) Стандартный метод испытаний для определения средней электрической ширины прямой тонкопленочной металлической линии [метрическая система]
- 1996 ASTM F1261M-96 Стандартный метод испытаний для определения средней электрической ширины прямой тонкопленочной металлической линии [метрическая система]
