BS ISO 20341:2003 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод оценки параметров разрешения по глубине с использованием эталонных материалов с несколькими дельта-слоями.
Настоящий международный стандарт определяет процедуры оценки трех параметров разрешения по глубине, а именно длины затухания переднего фронта, длины затухания заднего фронта и гауссовского уширения, при профилировании глубины SIMS с использованием нескольких эталонных материалов дельта-слоя. 2 Настоящий международный стандарт не применим к дельта-слоям, в которых химическое и физическое состояние приповерхностной области, модифицированное падающими первичными ионами, не находится в устойчивом состоянии.
BS ISO 20341:2003 История
0000 BS ISO 20341:2003(2010)
2003BS ISO 20341:2003 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод оценки параметров разрешения по глубине с использованием эталонных материалов с несколькими дельта-слоями.