Настоящий стандарт устанавливает технические требования, методы испытаний и правила контроля газообразных продуктов хлора высокой чистоты, используемых в электронной промышленности. Упаковка выхлопных газов 1,11т, маркировка, транспортирование и хранение, требования безопасности. Настоящий стандарт распространяется на хлорную продукцию высокой чистоты, получаемую методом физической адсорбции и другими процессами с использованием технического жидкого хлора в качестве сырья. Этот продукт в основном используется в высокотехнологичных областях, таких как крупномасштабные интегральные схемы, оптические волокна, высокотемпературные сверхпроводники и обработка алюминия. Молекулярная формула: Cl2. Относительная молекулярная масса: 70,906 (согласно международной относительной атомной массе 1999 г.). Температура кипения при 101,3 кПа:
——34,05°С. Температура плавления при 101,3 кПа:
——l01,0. в. Плотность газа при 101,3 кПа и 20°С: 2,980 к9/м3.
GB/T 18994-2003 История
2014GB/T 18994-2014 Газы для электронной промышленности.Хлор высокой чистоты
2003GB/T 18994-2003 Газы для электронной промышленности. Хлор высокой чистоты.