International Organization for Standardization (ISO)
Последняя версия
ISO 5302:2003
сфера применения
Настоящий стандарт определяет метод измерения рабочих параметров турбомолекулярных насосов, который применим ко всем спецификациям и типам турбомолекулярных насосов. К ним относятся: а) с механическими или магнитными подшипниками; б) с дополнительными тяговыми ступенями или без них. Примечание: Поскольку турбомолекулярный насос нуждается в опоре форвакуумного насоса, следующие кривые будут использоваться в качестве дополнения к кривой объемного расхода-входного давления для полного определения его производительности: 1. Кривая расхода 1. Кривая степени сжатия 1. Давление наполнителя изменить кривую. Включает все соответствующие области и газы.
ISO 5302:2003 Ссылочный документ
ISO 3529-2 Вакуумная технология. Словарь. Часть 2. Вакуумные насосы и сопутствующие термины.*, 2020-02-25 Обновление