GOST 25196-1982
Вакуумное оборудование. Аппарат для ионной имплантации. Общие технические требования

Стандартный №

GOST 25196-1982

Дата публикации

1982

Разместил

RU-GOST R

Последняя версия

GOST 25196-1982

сфера применения

Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жи

GOST 25196-1982 Ссылочный документ

• GOST 24786-1981 Взрывозащищенные световые устройства для шахт. Основные Характеристики

GOST 25196-1982 История

• 1982 GOST 25196-1982 Вакуумное оборудование. Аппарат для ионной имплантации. Общие технические требования