В этой части ISO 14644 установлен словарь терминов и определений, относящихся к чистым помещениям и связанным с ними контролируемым средам. Эта часть ISO 14644 представляет собой сборник терминов и определений, приведенных в других частях ISO 14644. Она также включает термины и определения, данные в ISO 14698-1 и ISO 14698-2.
ANSI/IEST/ISO 14644-6:2008 История
2008ANSI/IEST/ISO 14644-6:2008 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 6. Словарь