GB/T 21287-2007 (Англоязычная версия) Газы для электронной промышленности.Трифторид азота

Стандартный №: GB/T 21287-2007
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2007
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
состояние: быть заменен 2022-05
быть заменен: GB/T 21287-2021
Последняя версия: GB/T 21287-2021

сфера применения: Этот стандарт определяет технические требования, методы испытаний, правила проверки, упаковку, маркировку, транспортировку, хранение и безопасность трифторида азота, баллонного газа, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на трифторид азота, используемый в электронной промышленности. В основном он используется в качестве плазменного травителя для плазменных процессов и чистящего средства при химическом осаждении из паровой фазы в электронной промышленности. Молекулярная формула: NF3. Молекулярный вес: 71,001 9 (согласно международному относительному атомному весу в 2001 г.)

GB/T 21287-2007 Ссылочный документ

GB 14194 Правила наполнения постоянных газовых баллонов
GB 190 Символ упаковки опасных грузов*， 2009-06-21 Обновление
GB 2723 Гигиенические нормативы на свежую говядину, свежую баранину и свежее мясо кролика.
GB 5099 Бесшовные стальные газовые баллоны
GB 7144 Цветная маркировка баллона для газов
GB/T 5832.1 Газовый анализ. Определение воды. Часть 1. Электролитический метод.*， 2016-12-13 Обновление
GB/T 6681 Общие правила отбора проб газообразных химических продуктов