Настоящий стандарт определяет метод измерения рабочих параметров турбомолекулярных насосов, который применим ко всем спецификациям и типам турбомолекулярных насосов. В том числе: а) с механическими или магнитными подшипниками; б) с дополнительными ступенями тяги или без них. Примечание. Поскольку турбомолекулярный насос нуждается в поддержке форвакуумного насоса, следующие кривые будут использоваться в качестве дополнения к кривой объемного расхода-входного давления для полного определения его производительности:
——Кривая расхода;
——Кривая степени сжатия;
——Кривая изменения входного давления. Включает все соответствующие области и газы.
GB/T 7774-2007 Ссылочный документ
ISO 3529-2 Вакуумная технология. Словарь. Часть 2. Вакуумные насосы и сопутствующие термины.*, 2020-02-25 Обновление