DIN 32566:2007
Производственное оборудование для микросистем. Спецификация опорного кольца маски для рентгеновской литографии
- Стандартный №
- DIN 32566:2007
- Дата публикации
- 2007
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- быть заменен
- DIN 32566:2007-12
- Последняя версия
- DIN 32566:2007-12
DIN 32566:2007 Ссылочный документ
- DIN EN ISO 1101 Геометрические спецификации изделия (GPS) – Геометрические допуски – Допуски формы, ориентации, местоположения и биения (ISO 1101:2017); Немецкая версия EN ISO 1101:2017.*， 2017-09-01 Обновление
- DIN EN ISO 8734 Параллельные штифты из закаленной стали и мартенситной нержавеющей стали (Шпильки дюбельные) (ISO 8734:1997); Немецкая версия EN ISO 8734:1997.*， 2019-05-01 Обновление
DIN 32566:2007 История
- 2007 DIN 32566:2007-12 Производственное оборудование для микросистем. Спецификация опорного кольца маски для рентгеновской литографии
- 2007 DIN 32566:2007 Производственное оборудование для микросистем. Спецификация опорного кольца маски для рентгеновской литографии
