JEDEC JEP139-2000 Старение при постоянной температуре для определения характеристик металлизации алюминиевых межсоединений на предмет пустот, вызванных напряжением
(U.S.) Joint Electron Device Engineering Council Soild State Technology Association
Последняя версия
JEDEC JEP139-2000
сфера применения
Образование пустот, вызванное напряжением, которое может возникнуть во время обработки, хранения и использования, является проблемой надежности микроэлектронных чипов, в которых для внутренней проводки используются сплавы на основе алюминия. Эта тема была подробно рассмотрена Окабаяши [3]. Подверженная металлизации может привести к образованию пустот в линиях, а также под W-образными шпильками или над ними. Для простых металлизаций, таких как AlSi, такие пустоты могут привести к катастрофическому разрушению. В металлизациях Al, покрытых огнеупорным шунтирующим слоем, пустоты вызывают увеличение сопротивления и взаимодействуют с другими механизмами разрушения, такими как электромиграция и механическое разрушение, сокращая срок службы.
JEDEC JEP139-2000 История
2000JEDEC JEP139-2000 Старение при постоянной температуре для определения характеристик металлизации алюминиевых межсоединений на предмет пустот, вызванных напряжением