DIN EN ISO 14644-6:2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 6: Словарь (ISO 14644-6:2007); Трехъязычная версия EN ISO 14644-6:2007.
Эта часть ISO 14644 устанавливает словарь терминов и определений, относящихся к чистым помещениям и связанным с ними контролируемым средам. Эта часть ISO 14644 представляет собой сборник терминов и определений, приведенных в других частях ISO 14644. Она также включает термины и определения, данные в ISO 14698-1 и ISO 14698-2.
DIN EN ISO 14644-6:2007 История
2007DIN EN ISO 14644-6:2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 6: Словарь (ISO 14644-6:2007); Трехъязычная версия EN ISO 14644-6:2007.