ISO 21360:2007
Вакуумная техника. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Общее описание.

Стандартный №

ISO 21360:2007

Дата публикации

2007

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

состояние

снять со счета

Последняя версия

ISO 21360:2007

сфера применения

Этот международный стандарт является базовым стандартом, который определяет три различных метода измерения объемного расхода и по одному методу измерения базового давления, степени сжатия и критического обратного давления вакуумного насоса. Первый метод измерения объемного расхода (метод пропускной способности) представляет собой базовую концепцию, при которой в насос впрыскивается постоянный поток газа и одновременно измеряется давление на входе. На практике измерение расхода газа может быть сложным или неточным. По этой причине описаны два других метода, которые позволяют избежать прямого измерения пропускной способности. Второй метод измерения объемного расхода (диафрагменный метод) используется при очень малой пропускной способности при очень малых давлениях на входе (в высоком и сверхвысоком вакууме). Он основан на измерении соотношения давлений в двухкамерном испытательном куполе, где две камеры разделены стенкой с круглым отверстием. Третий метод измерения объемного расхода (метод откачки) хорошо подходит для автоматизированных измерений. В его основе лежит эвакуация большого судна. Объемный расход рассчитывается по двум значениям давления: до и после интервала откачки, а также по объему испытательного купола. Различные эффекты, такие как скорость утечки и десорбции, охлаждение газа за счет почти изоэнтропического расширения во время интервала откачки и увеличение гидравлического сопротивления в соединительной линии между испытательным куполом и насосом, вызванное молекулярным потоком при низких давлениях, влияют на результаты измерения давления и результирующий объемный расход. Выбор необходимых методов измерения зависит от свойств конкретных типов вакуумных насосов, например, измерение критического форвакуумного давления необходимо только для вакуумных насосов, которым необходим форвакуумный насос. Все данные, измеренные на вакуумном насосе, но не описанные в настоящем международном стандарте (например, измерение потребляемой мощности), определены в стандарте на конкретный насос.

ISO 21360:2007 История

• 2007 ISO 21360:2007 Вакуумная техника. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Общее описание.