В этом техническом отчете приведены рекомендации по измерению глубины напыления при профилировании глубины напыления. Методы измерения глубины распыления, описанные в настоящем техническом отчете, применимы к методам химического анализа поверхности при использовании в сочетании с ионной бомбардировкой для удаления части твердого образца на типичную глубину распыления до нескольких микрометров.