DIN EN 62047-2:2007
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение (IEC 62047-2:2006); Немецкая версия EN 62047-2:2006.
- Стандартный №
- DIN EN 62047-2:2007
- Дата публикации
- 2007
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- быть заменен
- DIN EN 62047-2:2007-02
- Последняя версия
- DIN EN 62047-2:2007-02
- заменять
- DIN IEC 62047-2:2004
- сфера применения
- Настоящий международный стандарт определяет метод испытания на растяжение тонкопленочных материалов длиной и шириной менее 1 мм и толщиной менее 10 мкм. которые являются основными конструкционными материалами для микроэлектромеханических систем (МЭМС), микромашин и подобных устройств.#,,#
DIN EN 62047-2:2007 Ссылочный документ
- ISO 6892 Металлические материалы. Испытание на растяжение при температуре окружающей среды
DIN EN 62047-2:2007 История
- 2007 DIN EN 62047-2:2007-02 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение (IEC 62047-2:2006); Немецкая версия EN 62047-2:2006.
- 2007 DIN EN 62047-2:2007 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение (IEC 62047-2:2006); Немецкая версия EN 62047-2:2006.
- 0000 DIN IEC 62047-2:2004
