DIN EN 62047-3:2007
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение (IEC 62047-3:2006); Немецкая версия EN 62047-3:2006.
- Стандартный №
- DIN EN 62047-3:2007
- Дата публикации
- 2007
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- быть заменен
- DIN EN 62047-3:2007-02
- Последняя версия
- DIN EN 62047-3:2007-02
- заменять
- DIN IEC 62047-3:2004
DIN EN 62047-3:2007 Ссылочный документ
- IEC 62047-2 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение.
- ISO 17561 Тонкая керамика (высокотехнологичная керамика, усовершенствованная техническая керамика) - Метод испытания модулей упругости монолитной керамики при комнатной температуре методом звукового резонанса.*， 2016-07-01 Обновление
DIN EN 62047-3:2007 История
- 2007 DIN EN 62047-3:2007-02 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение (IEC 62047-3:2006); Немецкая версия EN 62047-3:2006.
- 2007 DIN EN 62047-3:2007 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение (IEC 62047-3:2006); Немецкая версия EN 62047-3:2006.
- 0000 DIN IEC 62047-3:2004
