BS EN 62047-2:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение.

сфера применения: Настоящий международный стандарт определяет метод испытания на растяжение тонкопленочных материалов длиной и шириной менее 1 мм и толщиной менее 10 мкм, которые являются основными конструкционными материалами для микроэлектромеханических систем (МЭМС), микромашин и подобных устройств. Основные конструкционные материалы для МЭМС, микромашин и подобных устройств имеют такие особенности, как типичные размеры порядка нескольких микрон, изготовление материала методом осаждения, а также изготовление образца методом немеханической обработки с использованием травления и фотолитографии. Настоящий международный стандарт определяет метод испытаний, который позволяет гарантировать точность, соответствующую особым характеристикам.

BS EN 62047-2:2006 Ссылочный документ

ISO 6892 Металлические материалы. Испытание на растяжение при температуре окружающей среды

2006 BS EN 62047-2:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение.