GB/T 18682-2002
Характеристики пленок TiN физического осаждения из паровой фазы (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 18682-2002

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2002

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 18682-2002

сфера применения

Этот стандарт определяет технические требования к физическому осаждению тонких пленок TiN из паровой фазы. Настоящий стандарт распространяется на физическое осаждение тонких пленок TiN из паровой фазы, а также на тонкие пленки TiN, полученные другими методами. Этот стандарт также распространяется на другие слои нанесения материалов (TiC, TiCN, TiAIN и т. д.).

GB/T 18682-2002 История

• 2002 GB/T 18682-2002 Характеристики пленок TiN физического осаждения из паровой фазы