ISO 14644-3:2005 определяет методы испытаний для определенной классификации чистоты частиц в воздухе и для характеристики характеристик чистых помещений и чистых зон. Испытания производительности определены для двух типов чистых помещений и чистых зон: с однонаправленным потоком и с неоднонаправленным потоком, в трех возможных состояниях присутствия: в заводском состоянии, в состоянии покоя и в рабочем состоянии. ISO 14644-3:2005 не применим к измерению продуктов или процессов в чистых помещениях или изолирующих устройствах.
BS EN ISO 14644-3:2005 История
0000 BS EN ISO 14644-3:2019(2020)
2020BS EN ISO 14644-3:2019 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Методы испытаний
2005BS EN ISO 14644-3:2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Методы испытаний