ISO/TR 15969:2001
Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Измерение глубины распыления.
- Стандартный №
- ISO/TR 15969:2001
- Дата публикации
- 2001
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- состояние
- быть заменен
- ISO/TR 15969:2021
- Последняя версия
- ISO/TR 15969:2021
- сфера применения
- В этом техническом отчете приведены рекомендации по измерению глубины напыления при профилировании глубины напыления. Методы измерения глубины распыления, описанные в настоящем техническом отчете, применимы к методам химического анализа поверхности при использовании в сочетании с ионной бомбардировкой для удаления части твердого образца на типичную глубину распыления до нескольких микрометров.
ISO/TR 15969:2001 История
- 2021 ISO/TR 15969:2021 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Измерение глубины распыления.
- 2001 ISO/TR 15969:2001 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Измерение глубины распыления.
