Настоящий стандарт определяет интерферометрический прибор для измерения шероховатости поверхности (далее - измерительный прибор), который измеряет шероховатость поверхности путем увеличения интерферометрических полос, создаваемых стандартной отражающей поверхностью и поверхностью, подлежащей измерению с помощью микроскопа.
JIS B 0652:1973 История
1973JIS B 0652:1973 Приборы для измерения шероховатости поверхности интерферометрическим методом