DIN 50454-1:2000
Испытание материалов для полупроводниковой техники - Определение дислокаций в монокристаллах полупроводников III-V-соединений - Часть 1: Арсенид галлия

Стандартный №

DIN 50454-1:2000

Дата публикации

2000

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

снять со счета

Последняя версия

DIN 50454-1:2000

сфера применения

Стандарт устанавливает метод выявления дислокаций в монокристаллах, имеющих форму стержня, образцов арсенида галлия с полированной, полированной, травленой или спиленной поверхностью, ориентированной в плоскостях кристалла (111)-Ga и (100), с использованием структурного травления и определения плотность на поверхности и локальное распределение этих дислокаций.#,,#

DIN 50454-1:2000 История

• 2000 DIN 50454-1:2000 Испытание материалов для полупроводниковой техники - Определение дислокаций в монокристаллах полупроводников III-V-соединений - Часть 1: Арсенид галлия