IEC TS 61945:2000
Интегральные схемы. Одобрение производственной линии. Методология анализа технологий и отказов.

Стандартный №

IEC TS 61945:2000

Дата публикации

2000

Разместил

International Electrotechnical Commission (IEC)

Последняя версия

IEC TS 61945:2000

заменять

IEC 47A/523/CDV:1998

сфера применения

В данной технической спецификации представлена методология анализа технологий и отказов при производстве интегральных схем. Принимая во внимание уровень сложности используемых методов и средств, настоящая техническая спецификация охватывает классификацию нескольких уровней технологического анализа, которые могут быть использованы для полупроводников, и определяет для каждого уровня: 　——задачу, которую необходимо выполнить (или задачу); ; 　——вопросы, подлежащие исследованию; 　——инструменты и методы, необходимые для имеющихся в настоящее время технологий для достижения этих целей. Технологический анализ используется для определения способа создания компонента путем наблюдения за ним с адекватным разрешением, которое постепенно увеличивается с уровнем анализа. Кроме того, это позволяет обнаружить любую неисправность, потенциально влияющую на надежность устройств в типичных условиях работы. Его можно использовать для проверки соответствия устройства его производственной документации, а также для определения физических и химических характеристик испытуемого устройства. Точки, отмеченные в ходе анализа, также могут служить руководством для эксперта при будущем аудите качества производственной линии. Используя аналогичные или специфичные для конкретного случая средства, анализ отказов приводит к выявлению физических причин отказа, обнаруженного в устройстве во время испытаний или в нормальных рабочих условиях. Благодаря глубокому знанию компонента и его внутренних механизмов отказа технологический анализ может подготовиться к будущему анализу отказов. Данная техническая спецификация считается подходящей методологией испытаний, если она упоминается в заявочном документе. В таких документах должны быть указаны конкретные условия его применения.

IEC TS 61945:2000 История

• 2000 IEC TS 61945:2000 Интегральные схемы. Одобрение производственной линии. Методология анализа технологий и отказов.