JIS R 1636:1998
Метод определения толщины тонких керамических пленок. Толщина пленки с помощью контактного профилометра

Стандартный №

JIS R 1636:1998

Дата публикации

1998

Разместил

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Последняя версия

JIS R 1636:1998

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод испытания толщины тонких керамических пленок с использованием измерителя шероховатости поверхности щупового типа. Применимый диапазон толщины составляет 10-10000 нм.

JIS R 1636:1998 История

• 1998 JIS R 1636:1998 Метод определения толщины тонких керамических пленок. Толщина пленки с помощью контактного профилометра