Настоящий стандарт определяет инструментальный метод определения частиц в воде электронного качества. Настоящий стандарт применяется к непрерывному или однократному обнаружению и подсчету частиц в воде электронного качества. Измеренный размер частиц превышает или равен 0,5 мкм, а концентрация частиц составляет (от 0 до 10 000) частиц/мл.
GB/T 11446.9-1997 История
2013GB/T 11446.9-2013 Метод определения частиц в воде электронного качества с помощью прибора
1997GB/T 11446.9-1997 Метод определения частиц в воде электронного качества с помощью прибора