GB/T 16942-1997
Газы для электронной промышленности. Водород. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 16942-1997

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1997

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

состояние

быть заменен 2010-05

быть заменен

GB/T 16942-2009

Последняя версия

GB/T 16942-2009

сфера применения

Этот стандарт определяет технические требования, методы испытаний, упаковку, маркировку, безопасность и т. д. водорода, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт применим к баллонному водороду, полученному путем очистки промышленного водорода в качестве сырья. Водород в основном используется для создания восстановительной атмосферы, в качестве газа-носителя для эпитаксиального процесса и в качестве сырья для газораспределения плазменного травителя. Молекулярная формула: H2 Относительная молекулярная масса: 2,016 (согласно международной относительной атомной массе в 1991 году).

GB/T 16942-1997 История

• 2009 GB/T 16942-2009 Газ для электронной промышленности.Водород
• 1997 GB/T 16942-1997 Газы для электронной промышленности. Водород.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации