DIN 50441-3:1985
Испытание материалов для полупроводниковой техники; измерение геометрических размеров полупроводниковых пластинок; определение отклонения от плоскостности полированных срезов методом многолучевой интерференции

Стандартный №

DIN 50441-3:1985

Дата публикации

1985

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

снять со счета

Последняя версия

DIN 50441-3:1985

DIN 50441-3:1985 История

• 1985 DIN 50441-3:1985 Испытание материалов для полупроводниковой техники; измерение геометрических размеров полупроводниковых пластинок; определение отклонения от плоскостности полированных срезов методом многолучевой интерференции