ISO 21360-1:2020
Вакуумная техника. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 1. Общее описание.

Стандартный №

ISO 21360-1:2020

Дата публикации

2020

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 21360-1:2020

сфера применения

В этом документе определены три метода измерения объемного расхода и по одному методу измерения базового давления, степени сжатия и критического обратного давления вакуумного насоса. Первый метод измерения объемного расхода (метод пропускной способности) представляет собой базовую концепцию, при которой в насос впрыскивается постоянный поток газа и одновременно измеряется давление на входе. На практике измерение расхода газа может быть сложным или неточным. По этой причине указаны два других метода, которые позволяют избежать прямого измерения пропускной способности. Второй метод измерения объемного расхода (диафрагменный метод) используется при очень малой пропускной способности при очень малых входных давлениях (при высоком или сверхвысоком вакууме). Он основан на измерении соотношения давлений в двухкамерном испытательном куполе, в котором две камеры разделены стенкой с круглым отверстием. Третий метод измерения объемного расхода (метод откачки) хорошо подходит для автоматизированных измерений. В его основе лежит эвакуация большого судна. Объемный расход рассчитывается по двум значениям давления: до и после интервала откачки, а также по объему испытательного купола. Различные эффекты, такие как скорость утечки и десорбции, охлаждение газа за счет почти изоэнтропического расширения во время интервала откачки и увеличение гидравлического сопротивления в соединительной линии между испытательным куполом и насосом, вызванное молекулярным потоком при низких давлениях, влияют на результаты измерения давления и результирующий объемный расход. Выбор необходимых методов измерения зависит от свойств конкретных типов вакуумных насосов, например, измерение критического форвакуумного давления необходимо только для вакуумных насосов, которым необходим форвакуумный насос. Все данные, измеренные на вакуумном насосе, но не указанные в этом документе (например, измерение потребляемой мощности), определены в стандарте конкретного насоса.

ISO 21360-1:2020 Ссылочный документ

• ISO 3529-2 Вакуумная технология. Словарь. Часть 2. Вакуумные насосы и сопутствующие термины.

ISO 21360-1:2020 История

• 2020 ISO 21360-1:2020 Вакуумная техника. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 1. Общее описание.
• 2012 ISO 21360-1:2012 Вакуумная техника. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 1. Общее описание.