T/ICMTIA 4.2-2020
Мономер фоторезиста ArF для интегральных схем. Часть 2. Твердый метакрилат. (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/ICMTIA 4.2-2020

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2020

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/ICMTIA 4.2-2020

сфера применения

В этом документе указаны термины и определения, виды продукции и структурные характеристики, технические требования, методы анализа и испытаний, технологические требования, упаковка мономеров фоторезиста аргона фторида для интегральных схем. Часть 2 Твердый метакрилат, требования к хранению и транспортировке.

T/ICMTIA 4.2-2020 История

• 2020 T/ICMTIA 4.2-2020 Мономер фоторезиста ArF для интегральных схем. Часть 2. Твердый метакрилат.