В настоящем документе указаны термины и определения, технические требования, методы испытаний, правила контроля, упаковка, маркировка/маркировка, хранение и транспортировка монокристаллических тонкопленочных подложек для устройств на поверхностных акустических волнах. Этот документ распространяется на тонкопленочные монокристаллические подложки для устройств на поверхностных акустических волнах.
T/CECA 69-2022 История
2022T/CECA 69-2022 Монокристаллические тонкопленочные подложки для устройств на ПАВ