Настоящий стандарт определяет термины и определения, основные требования, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортировку и хранение, обязательства по качеству и т. д. мишеней магнетронного распыления из оксида цинка и алюминия. Настоящий стандарт распространяется на мишени для магнетронного распыления ZnO, изготовленные методом порошковой металлургии для магнетронного распыления для нанесения энергосберегающих низкоэмиссионных стеклянных функциональных диэлектрических слоев и слоев прозрачных электродов тонкопленочных солнечных элементов.
T/ZZB 0639-2018 История
2018T/ZZB 0639-2018 Мишени магнетронного распыления из оксида цинка, легированного алюминием