DB35/T 1248-2012
Определение содержания примесей в германском газе для электронной промышленности - Газовая хроматография (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- DB35/T 1248-2012
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2012
- Разместил
- Fujian Provincial Standard of the People's Republic of China
- Последняя версия
- DB35/T 1248-2012
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод определения содержания примесей в германском газе, используемом в электронной промышленности, с помощью газовой хроматографии. Настоящий стандарт распространяется на определение содержания водорода, кислорода (аргона), азота, метана, оксида углерода и диоксида углерода в германских газах, используемых в электронной промышленности. Пределы обнаружения каждого примесного компонента: водород: 0,02 мкмоль/моль, кислород (аргон): 0,01 мкмоль/моль, азот: 0,01 мкмоль/моль, метан: 0,005 мкмоль/моль, оксид углерода: 0,02 мкмоль/моль, углекислый газ: 0,005 мкмоль/моль, линейный диапазон обнаружения каждого примесного компонента: водород, кислород (аргон), азот ≤ 1000 мкмоль/моль, метан, оксид углерода, диоксид углерода ≤ 2000 мкмоль/моль.
DB35/T 1248-2012 История
- 2012 DB35/T 1248-2012 Определение содержания примесей в германском газе для электронной промышленности - Газовая хроматография
