T/ICMTIA SM006-2021 Кремниевая эпитаксиальная пластина 300 мм P/P-типа для логического процесса шириной линии интегральной схемы 65-14 нм (Англоязычная версия)
В этом документе указаны технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировка, упаковка, транспортировка, хранение и сертификаты качества для кремниевых эпитаксиальных пластин диаметром 300 мм, типа P/P и (100) ориентации кристаллов. Этот документ применим к кремниевым эпитаксиальным пластинам P/P-типа толщиной 300 мм для логического процесса интегральной схемы с шириной линии 65–14 нм.
T/ICMTIA SM006-2021 История
2021T/ICMTIA SM006-2021 Кремниевая эпитаксиальная пластина 300 мм P/P-типа для логического процесса шириной линии интегральной схемы 65-14 нм