UNE-EN ISO 14644-13:2018 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 13. Очистка поверхностей для достижения определенного уровня чистоты с точки зрения классификации частиц и химических веществ (ISO 14644-13:2017)
2018UNE-EN ISO 14644-13:2018 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 13. Очистка поверхностей для достижения определенного уровня чистоты с точки зрения классификации частиц и химических веществ (ISO 14644-13:2017)