The Directorate General of Specifications and Metrology (DGSM)
Последняя версия
OS GSO IEC 60204-33:2017
Введение
Данная норма регулирует вопросы безопасности механических устройств и их электрического оборудования в области производства полупроводниковых материалов. Она является частью серии стандартов, предназначенных для обеспечения надлежащих условий эксплуатации и защиты работников от потенциальных рисков при работе с оборудованием для изготовления полупроводников. Норма включает специфические требования к электрическим системам таких машин, которые используются в этом производственном секторе.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.
OS GSO IEC 60204-33:2017 История
2017OS GSO IEC 60204-33:2017 Безопасность машин. Электрооборудование машин. Часть 33. Требования к оборудованию для производства полупроводников.