В этом документе указаны технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировка, маркировка, упаковка, транспортировка, хранение и требования безопасности для 10% газовой смеси аммиака и гелия для интегральных схем. Этот документ применим к газовой смеси аммиака и гелия с содержанием 10 % для интегральных схем (далее именуемой 10 % аммиака и гелия). Смешанные газы аммиака и гелия с другим соотношением компонентов могут быть реализованы соответствующим образом.
T/CHBAS 34-2023 История
2023T/CHBAS 34-2023 Газовая смесь для интегральных схем 10% аммиак/гелий