Fujian Provincial Standard of the People's Republic of China
Последняя версия
DB35/T 1873-2019
сфера применения
Настоящий стандарт устанавливает требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортировку и хранение вращающихся кремниевых мишеней термического напыления. Этот стандарт применим к вращающейся кремниевой мишени для термического напыления, в которой в качестве сырья используется порошок кремния высокой чистоты, добавляются следовые вещества и используется процесс плазменного напыления для распыления порошка кремния на гильзу из нержавеющей стали.
DB35/T 1873-2019 История
2019DB35/T 1873-2019 Общие характеристики вращающихся кремниевых мишеней, наносимых термическим напылением