В этом документе указаны состав, требования к чистоте, требования к концентрации, пропорции приготовления, требования к приготовлению и использованию смесей кислот для очистки траншей диодных ГПП. Настоящий документ применим к приготовлению смешанной кислоты для очистки канавок GPP методом мокрого травления диодов (включая выпрямительные диоды, силовые диоды с быстрым восстановлением, тиристоры, переходные диоды, полупроводниковые газоразрядные трубки и т. д.).
T/QDAS 094-2022 История
2022T/QDAS 094-2022 Смешанная кислотная формула для очистки канавок диодов GPP