General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 41751-2022
сфера применения
В этом документе описан метод проверки радиуса кривизны кристаллической плоскости монокристаллической подложки нитрида галлия с использованием рентгеновского дифрактометра высокого разрешения. Настоящий документ применим к испытанию радиуса кривизны кристаллической поверхности монокристаллических подложек нитрида галлия, полученных химическим осаждением из паровой фазы и другими методами.Испытание радиуса кривизны кристаллической поверхности эпитаксиальных пластин нитрида галлия может быть выполнено со ссылкой на этот документ.
GB/T 41751-2022 Ссылочный документ
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 41751-2022 История
2022GB/T 41751-2022 Метод определения радиуса кривизны кристаллической плоскости пластин монокристаллической подложки GaN