T/CHBAS 48-2023
Газ пентафторэтан для электронной промышленности (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/CHBAS 48-2023

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2023

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/CHBAS 48-2023

сфера применения

Настоящий документ определяет технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировку, упаковку, транспортирование и хранение, а также безопасность газообразного пентафторэтана (далее – пентафторэтан), используемого в электронной промышленности. Настоящий документ распространяется на пентафторэтан для электронной промышленности, который очищается и готовится из промышленного пентафторэтана в качестве сырья. Он используется в качестве травильного газа в процессе плазменного травления в электронной промышленности.

T/CHBAS 48-2023 История

• 2023 T/CHBAS 48-2023 Газ пентафторэтан для электронной промышленности

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации