| Сравнительные размеры | Издание 1997 г. | Издание 2021 г. |
|---|---|---|
| Определение терминов | Все продолжают использовать старую версию | Добавлено чёткое определение отверстия |
| Требования к оборудованию | Перечислено только базовое оборудование | Уточнены требования к параметрам электронного оже-спектрометра |
| Критерии оценки | В основном качественное описание | Количественный диапазон массовой доли элемента |
Оже-анализ используется для обнаружения разницы в элементном составе внутренней поверхности отверстий следа плавления короткого замыкания для идентификации:
| Энергия электронного пучка | 3000 эВ |
| Интенсивность пучка | 0,5 мкА |
| Диаметр анализируемого пятна | <2 мкм |
| Элемент | Первичное короткое замыкание (%) | Вторичное короткое замыкание (%) |
|---|---|---|
| Углерод (C) | 9,0–14,0 | 35,0–45,5 |
| Азот (N) | 3,5–4,5 | 0–2,5 |
| Медь (Cu) | 75,0–83,5 | 52,5–65,5 |

© 2025. Все права защищены.